다이픽커
- 관리번호
-
- AKV631A
-
- 특허제4829262호
- 특허제5083701호
장비형번
ADIP860
개요
웨이퍼에서 픽업한 IC칩을 트레이에 정열하는 장비입니다.
특징
- 최대 12인치 웨이퍼 링에 대응합니다.
- 풀 화상 위치 결정으로 취출하여, 정열을 실시합니다.(메커 센터링 없음)
- 옵션으로 칩의 외형 치수를 측정할 수 있습니다.
- 터렛 테이블에 의해 고속으로 반송을 실시합니다.
사양
대상워크 | 칩 (다이싱된 웨이퍼) |
---|---|
웨이퍼 공급 | 12인치 웨이퍼 링을 매거진으로 공급・회수 |
사이클타임 | 0.3초/개 |
외형치수 | W1540×D1300×H1750㎜ (모니터, 표시등 제외) |