소형수정진동자 생산설비

  • 마스크 인서트 장비 (터렛 반송)

    • 터렛 테이블에 의해, 저진동, 저발진 및 고속의 반송을 실현하였습니다.
    • 마스크 삽입 포인트를 화상 인식하여, 다이렉트로 블랭크를 삽입합니다.
    • 블랭크 트레이는 순차 공급, 순차 회수가 가능합니다.
  • 블랭크 마운터

    • 디스펜서의 온도 제어, 니들 높이 0점 검출, 도포 위치 피드백 기능을 장착하여, 도포량의 안정화 및 도포 위치의 고정도화를 도모하였습니다. 또한, 옵션으로서 패키지의 높이 계측을 실시할 수도 있습니다.
    • 화상 위치 보정으로, 탑재정도 ±0.03mm를 실현하였습니다.
    • 후공정(폐사 크린 경화로)과의 인라인 접속이 가능합니다.
  • 블랭크 마운터(고속 타입)

    • 패키지, 블랭크의 이재에 터렛 테이블을 채용하여 고속화를 실현하였습니다.
    • 디스펜서의 온도 제어, 니들 높이 0점 검출, 도포 위치 피드백 기능을 장착하여, 도포량의 안정화 및 도포 위치의 고정도화를 도모하였습니다.옵션으로 레이저 변위계에 의한 패키지의 높이 측정&도포 높이 보정이 가능합니다.
    • 신개발 화상인식 방법 및 저진동에 의해, 탑재 정도±0.015mm를 실현하였습니다.
    • AT블랭크 및 음차 블랭크의 웨이퍼로 부터 분할 공급 사양도 가능합니다.
    • 후공정(폐사 크린 경화로)와의 인라인 접속이 가능합니다.
  • 블랭크 마운터 (반전 터렛)

    • 캐비티형상PKG에 도포하는 경우와 비교해, 니들 형상의 제약이 적고, 미량 정밀 도포를 할 수 있습니다.
    • 블랭크를 반전하여, 위에서 접착제 도포가 가능하므로, 일반적인 에어 펄스식 디스펜서가 사용가능합니다.
  • 크린 경화로

    • 크린 분위기(클래스100)에서 접착제의 경화를 실시합니다.
    • 로내에 N2가스를 도입하여, 제품 및 도전성 접착제의 산화를 방지합니다.(산소 농도 100 ppm이내)
    • 로내의 가열 존은 4회로로, 각 회로 독립된 제어가 가능하여, 임의의 온도 곡선을 취할 수 있습니다.
    • 로내에 트레이를 직접 공급함으로서, 온도 상승을 단시간에 실시합니다.이로 인해 도전성 접착제 표면의 피막형성을 억제해, 잔류 용제에 의한 보이드의 발생을 방지합니다.
    • 내부를 2열 반송으로 하여, 장비를 소형화하였습니다.
    • 로체의 상부는 개폐식으로 되어있어, 내부의 크리닝이 용이합니다.
    • 전후 공정과의 인라인 접속이 가능합니다.
  • 리드 가용접 장비

    • 터렛 테이블에 의해 고속 및 고정도로 리드를 탑재합니다.
    • 대기중에서 가용접을 실시함으로, 메인터넌스성의 향상과 질소 사용량의 저감을 도모하였습니다.
    • 폐사 진공 어닐 장비, 진공 심 용접과의 인라인 접속도 가능합니다.
    • 파츠 피더에서 리드의 표리 판정도 가능합니다.(옵션)
  • 진공 어닐 장비

    • 전후 공정과 인라인 접속하여 트레이 1매 단위 처리가 가능합니다.
    • 1.1×10-3Pa의 고진공 상태에서, 세라믹패키지의 어닐을 실시합니다.
    • Max300℃、60분의 가열을 실시합니다.
    • 반송 치구는 통상 트레이와 클램프 트레이에 모두 대응합니다.
    • 후공정 정지시의 버퍼 스톡커를 설치하였습니다.
  • 직교 XY진공 심 용접 장비

    • 1.1×10-3Pa의 고진공 상태에서, 세라믹 패키지의 실링을 실시합니다.
    • 질소의 소모량 (1대당 20만- 30만엔 / 월)을 삭감하였습니다.
    • 표준 반송 치구 사이즈(174×134㎜)에 대응합니다.
    • 롤러 전극의 자동 교환 기능을 장착하여, 가동율의 유지를 기대할 수 있습니다.
    • 용접 전류 모니터 기능에 의해, 이상 검출 능력을 향상하였습니다.
    • 메인 진공 펌프에 터보 분자 펌프를 사용하여, 정전시 셧다운으로 부터 신속한 복구가 가능합니다.
  • N2심 용접 장비

    • 터렛 테이블에 의해 고속 및 고정도로 리드 탑재를 실시합니다.
    • 가용접용 롤러 전극으로, 한변의 심 용접을 실시할 수도 있습니다.
    • 표준 치구 사이즈(170x134mm)에 대응합니다.
  • 진공 심 용접 장비 (싱글 타입)

    • 1.1×10-3Pa의 고진공 상태에서, 세라믹 패키지의 X변의 심 실링을 실시합니다.
    • 질소의 소비량 (1대당20만- 30만엔 / 월)을 삭감합니다.
    • 롤러 전극의 자동교환기능을 장착하여, 가동율의 유지를 기대할 수 있습니다.
    • 용접 전류 모니터 기능에 의해, 이상 검출 능력을 향상하였습니다.
    • 메인 진공 펌프에 터보 분자 펌프를 사용하여 정전시의 셧다운으로 부터 신속한 복구가 가능합니다.
  • TH_Xtal온도특성검사장비 (터렛 타입)

    • 펠티어식 온도 조절 플레이트에 의해 고속 및 고정도의 온도 조절을 실시합니다.
    • 부품 공급~온특검사~부품 회수까지의 공정을 1대의 장비로 실시합니다.
    • 온도 구성에 대해서는 최대 5점까지 설치 가능합니다.
    • 항온조식과 비교하여, 소스페이스화, 저전력을 기대할 수 있습니다.
    • 소켓 보드가 불필요하므로, 기종 추가시의 전용부설계・확인의 부담이 경감됩니다.
  • 검사・마킹・테이핑장비

    • 터렛 방식에 의해 고속・저진동의 반송을 실현하였습니다.
    • 터렛 테이블은 리프트 구조로 되어있어, 노즐의 교환이 용이합니다.
    • 측정 프로브측을 고정한 방식으로, 고주파 제품도 신뢰성 높은 측정을 실시할 수가 있습니다.
    • 신개발 테이핑 장비는, 고속 반송, 고정도 위치결정을 고려한 설계로 되어 있습니다.