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수정분할정열장비
- 터렛 테이블에 의해, 저진동, 저발진 및 고속의 반송을 실시합니다.
- 엘레멘트의 분할, 위치 측정, 트레이로의 이재를 동일 스테이지에서 연속적으로 실시합니다.
- ＰＫＧ시트 기판의 탑재도 대응가능합니다.
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고속검사・테이핑장비
- 터렛 방식 반송 장비와 검사 인덱스 테이블의 조합에 의해, 택트 타임 ０．３초를 실현하였습니다.
- 검사 인덱스 테이블에는 회전 반송중에 주파수, 임피던스를 연속 측정하는 검사 기판을 탑재하였습니다.
- 세계 최고속 레벨이면서, 소형화, 저전력화를 실현하였습니다.
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RTC연속식온도특성검사장비
- 온도 조절 버퍼 스테이지 및 서브 PC의 병렬 처리에 의해 고스루풋을 실현하였습니다.
- 저온에서 고온까지 복수의 온도 컨트롤러 스테이지를 배치하였습니다.
- 펠티어 방식 온조 플레이트에 의해 인덱스 상에서 온도 조절을 실시합니다.
- 공급부～반송 캐리어간은 자동으로 이재를 하므로 소켓 삽입 작업이 불필요합니다.
