액티브얼라이먼트장비 (차재용)

  • 액티브얼라이먼트장비 (싱글 타입)

    • 렌즈바렐유니트를 촬상센서에 접착고정하는 장비입니다.
    • 센서에 ＵＶ접착제를 도포하고, 렌즈와 챠트에 의한 액티브얼라이먼트를 실시, ＵＶ조사로 접착제의 가경화를 실시합니다.
    상세

  • 액티브얼라이먼트장비 (매거진사양)

    • 트레이＆매거진에 의한 자재의 자동공급회수가 가능합니다.
    • ＣＭＯＳ센서측에서 ６축얼라이먼트 조정을 하므로, 렌즈의 광축을 유지한 채, 고정도로 얼라이먼트를 실시할 수 있습니다.
    • ＶＣＭ유니트에 통전하여, 전류치를 변화하면서, 레이저변위계로 높이를 계측하여 렌즈의 원점위치까지 구동시킨 상태를 유지한채, 액티브얼라이먼트를 실시합니다.
    • 액티브얼라이먼트・접착제도포 실시전, ＬＥＤ라이트의 백색광 촬상검사에 의해 센서상의 이물（흑점）을 검출합니다.
    • 스트로크가 긴 반송로보트에는, 리니어모터를 사용하여 발진을 억제합니다.
    상세

  • 액티브얼라이먼트장비

    • 센서의 공급／접착제도포／Ｒｏｕｇｈ＿ＡＡ／Ｓｌｉｇｈｔ＿ＡＡ／ＵＶ조사１／ＵＶ조사２／수납까지의 주요 공정을 병렬화하여 최소한의 얼라이먼트 스테이지 구성으로 효율적인 작업을 실시합니다.
    • 조정 알고리즘의 최적화를 도모하여 높은 ＵＰＨ가 실현가능합니다.
    • ６축 얼라이먼트 유니트는 고분해능의 액추에이터로 구성하였습니다.
    • ＡＡ공정을 복수배치하여 능력을 향상시킨 장비구성이 아니라, ＡＡ공정의 ＧＲＲ분석・관리의 간소화가 가능합니다.　　（AA공정간의 편차 억제）
    상세

  • 액티브얼라이먼트장비 (차재용)

    • 트레이＆매거진에 의한 자재의 자동공급회수가 가능합니다.
    • ＣＭＯＳ센서측에서 ６축얼라이먼트 조정을 하므로, 렌즈의 광축을 유지한 채, 고정도로 얼라이먼트를 실시할 수 있습니다.
    • 센서에 ＵＶ접착제를 도포하여, 렌즈와 챠트에 의한 액티브얼라이먼트를 실시, ＵＶ조사로 접착제의 가경화를 실시합니다.
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