액티브얼라이먼트장비
- 관리번호
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- AKV645A
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- 특허제5610658호
- 특허제5747396호
장비형번
AAAS860I
개요
인덱스 테이블상에 정열한 ６축 얼라이먼트유니트로 ＣＭＯＳ센서와 렌즈Ａｓｓｙ의 포커스조정, 광축조정을 실시, ＵＶ조사에 의해 가고정하는 장비니다.
특징
- 센서의 공급／접착제도포／Ｒｏｕｇｈ＿ＡＡ／Ｓｌｉｇｈｔ＿ＡＡ／ＵＶ조사１／ＵＶ조사２／수납까지의 주요 공정을 병렬화하여 최소한의 얼라이먼트 스테이지 구성으로 효율적인 작업을 실시합니다.
- 조정 알고리즘의 최적화를 도모하여 높은 ＵＰＨ가 실현가능합니다.
- ６축 얼라이먼트 유니트는 고분해능의 액추에이터로 구성하였습니다.
- ＡＡ공정을 복수배치하여 능력을 향상시킨 장비구성이 아니라, ＡＡ공정의 ＧＲＲ분석・관리의 간소화가 가능합니다. （AA공정간의 편차 억제）
사양
| 대상워크 | 카메라모듈 |
|---|---|
| 접합정도 | X,Y방향 ±5μｍ이하 Z방향 ±1μｍ이하 θ방향 ±0.5°이하 |
| 사이클타임 | 5.0초/개 （참고UPH 684/H） |
| 외형치수 | W1900×D2300×H2500㎜ （모니터, 표시등 제외, 높이는 챠트 설치 높이가 됩니다.） |
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