액티브얼라이먼트장비 (매거진사양)

액티브얼라이먼트장비 (매거진사양)

관리번호
  • AKV644A
  • 특허제5610658호
  • 특허제5747396호

장비형번

AAAS860M

개요

전용트레이로 공급된 센서기판에 렌즈유니트를 조립하고, 포커스조정, 접착제가경화, 수납까지 자동으로 실시하는 장비입니다.6축얼라이먼트기구로 고정도로 포커스조정이 가능합니다.

특징

  • 트레이&매거진에 의한 자재의 자동공급회수가 가능합니다.
  • CMOS센서측에서 6축얼라이먼트 조정을 하므로, 렌즈의 광축을 유지한 채, 고정도로 얼라이먼트를 실시할 수 있습니다.
  • VCM유니트에 통전하여, 전류치를 변화하면서, 레이저변위계로 높이를 계측하여 렌즈의 원점위치까지 구동시킨 상태를 유지한채, 액티브얼라이먼트를 실시합니다.
  • 액티브얼라이먼트・접착제도포 실시전, LED라이트의 백색광 촬상검사에 의해 센서상의 이물(흑점)을 검출합니다.
  • 스트로크가 긴 반송로보트에는, 리니어모터를 사용하여 발진을 억제합니다.

사양

대상워크 카메라모듈
접합정도 X,Y방향 ±5μm이하 Z방향 ±1μm이하 θ방향 ±0.5°이하
사이클타임 19.6초/개 (참고UPH 155/H)
외형치수 W1800×D1200×H1700㎜ (모니터, 표시등 제외, 높이는 챠트 설치 높이가 됩니다.)
  • 소형수정진동자 생산설비

  • 수정발진기・TCXO 생산설비

  • 음차형수정진동자 생산설비

  • 서미스터수정진동자 생산설비

  • 센서디바이스 생산설비

  • 반도체관련설비

  • 이재기관련설비

  • 렌즈조립장비

  • 카메라모듈관련설비