수정분할정열장비

수정분할정열장비

관리번호
  • AKV619B
  • 특허제4876230호
  • 특허제4829262호

장비형번

AWBO860

개요

음차형 수정진동자 블랭크를 웨이퍼로부터 분할하여 취출한 후, 블랭크 트레이에 정열하는 장비입니다.

특징

  • 터렛 테이블에 의해, 저진동, 저발진 및 고속의 반송을 실시합니다.
  • 엘레멘트의 분할, 위치 측정, 트레이로의 이재를 동일 스테이지에서 연속적으로 실시합니다.
  • ＰＫＧ시트 기판의 탑재도 대응가능합니다.

사양

대상워크 음차형 수정진동자 블랭크
워크공급 웨이퍼
사이클타임 0. 6 sec/개
외형치수 W1000×D950×H1700㎜ （모니터, 표시등 제외）

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