액티브얼라이먼트장비 (매거진사양)

관리번호

장비형번

전용트레이로 공급된 센서기판에 렌즈유니트를 조립하고, 포커스조정, 접착제가경화, 수납까지 자동으로 실시하는 장비입니다.６축얼라이먼트기구로 고정도로 포커스조정이 가능합니다.

트레이＆매거진에 의한 자재의 자동공급회수가 가능합니다.
ＣＭＯＳ센서측에서 ６축얼라이먼트 조정을 하므로, 렌즈의 광축을 유지한 채, 고정도로 얼라이먼트를 실시할 수 있습니다.
ＶＣＭ유니트에 통전하여, 전류치를 변화하면서, 레이저변위계로 높이를 계측하여 렌즈의 원점위치까지 구동시킨 상태를 유지한채, 액티브얼라이먼트를 실시합니다.
액티브얼라이먼트・접착제도포 실시전, ＬＥＤ라이트의 백색광 촬상검사에 의해 센서상의 이물（흑점）을 검출합니다.
스트로크가 긴 반송로보트에는, 리니어모터를 사용하여 발진을 억제합니다.