水晶分割整列設備
- 管理號
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- AKV619B
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- 專利第4876230號
- 專利第4829262號
商品型號:
AWBO860
概要
音叉型晶體片從晶圓分割取出,晶片托盤進行裝填的設備。
特征
- 大轉塔盤式搬送,實現了低振動,低発塵高速搬送。
- 折疊元件,位置測量,托盤轉移在同一平臺連續進行
- 也可對應向PKG基板搭載。
規格
対象產品 | 音叉型晶體片 |
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產品供料 | 晶圓 |
循環時間 | 0. 6 sec/個 |
外形尺寸 | W1000×D950×H1700㎜ (不包括顯示器,警示燈等) |