アクティブアライメント装置

アクティブアライメント装置

管理番号
  • AKV645A
  • 特許第5610658号
  • 特許第5747396号

商品型番:

AAAS860I

概要

インデックステーブル上の6軸アライメントユニットでCMOSセンサとレンズAssyのフォーカス調整、光軸調整を行い、UV照射により接着を仮固定する装置です。

特徴

  • センサの供給/接着剤塗布/Rough_AA/Slight_AA/UV照射1/UV照射2/収納といった主要な工程を並列化することにより最小限のアライメントステージ構成で効率的な作業を行います。
  • 調整アルゴリズムの最適化をはかることにより高UPHが実現可能です。
  • 6軸アライメントユニットは高分解能のアクチュエータで構成しています。
  • AA工程を複数配置し能力を向上させる装置構成ではないため、AA工程のGRR分析・管理が簡素化できます。(AA工程間のバラツキが抑えられる)

仕様

対象ワーク カメラモジュール
接合精度 X.Y方向 ±5μm以下
Z方向 ±1μm以下
θ方向 ±0.5°以下
サイクルタイム 5.0秒/個(参考UPH 684/H)
外形寸法 W1900×D2300×H2500㎜ (モニタ、表示灯等除く、高さはチャート設置高さによります。)
  • 小型水晶振動子生産設備

  • 水晶発振器・TCXO生産設備

  • 音叉型水晶振動子生産設備

  • サーミスタ水晶振動子生産設備

  • センサーデバイス生産設備

  • 半導体関連設備

  • 移載機関連設備

  • レンズ組立装置

  • カメラモジュール関連設備