크린 경화로
- 관리번호
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- AKV605A
장비형번
AOVN860
개요
블랭크 탑재후의 접착제 경화를 크린도 ＣＬＡＳＳ１００, 산소농도１００ｐｐｍ이하의 Ｎ２분의기에서 실시하는 장비입니다.
특징
- 크린 분위기（클래스１００）에서 접착제의 경화를 실시합니다.
- 로내에 Ｎ２가스를 도입하여, 제품 및 도전성 접착제의 산화를 방지합니다.（산소 농도 100 ppm이내）
- 로내의 가열 존은 ４회로로, 각 회로 독립된 제어가 가능하여, 임의의 온도 곡선을 취할 수 있습니다.
- 로내에 트레이를 직접 공급함으로서, 온도 상승을 단시간에 실시합니다.이로 인해 도전성 접착제 표면의 피막형성을 억제해, 잔류 용제에 의한 보이드의 발생을 방지합니다.
- 내부를 ２열 반송으로 하여, 장비를 소형화하였습니다.
- 로체의 상부는 개폐식으로 되어있어, 내부의 크리닝이 용이합니다.
- 전후 공정과의 인라인 접속이 가능합니다.
사양
| 대상워크 | ＳＭＤ형 수정진동자， 수정발진기 |
|---|---|
| 가열방식 | 상하 석영 히터열에의한 가열 |
| 캐리어반송 | 입구：컨베이어（인라인） 내부：워킹 빔 반송 출구：컨베이어（인라인 ） |
| 크린도 | 클라스 100이하 |
| 외형치수 | W2800×D1400×H1700㎜ （모니터， 표시등 제외） |
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