소형수정진동자 생산설비

진공 어닐 장비

관리번호
  • AKV607A
  • 특허제6056079호

장비형번

AANL860I

개요

리드 가용접 혹은 심 용접 공정의 직전에 진공 어닐을 실시하는 장비입니다. 용접 공정의 처리 속도에 맟추어, 캐리어 단위로 어닐 처리를 실시합니다.

특징

  • 전후 공정과 인라인 접속하여 트레이 1매 단위 처리가 가능합니다.
  • 1.1×10-3Pa의 고진공 상태에서, 세라믹패키지의 어닐을 실시합니다.
  • Max300℃、60분의 가열을 실시합니다.
  • 반송 치구는 통상 트레이와 클램프 트레이에 모두 대응합니다.
  • 후공정 정지시의 버퍼 스톡커를 설치하였습니다.

사양

대상워크 SMD형 수정진동자, 수정발진기
트레이 사양 표준 트레이 170×134㎜ (600pcs/매 2016이하 사이즈의 경우)
진공배기계 진공도 1×10-3Pa(드라이펌프+터보분자펌프)
외형치수 W1100×D1300×H1700㎜ (모니터, 표시등 및 칠러 제외)
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