潔凈硬化爐
- 管理號
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- AKV605A
商品型號：
AOVN860
概要
晶片搭載後的導電銀膠進行硬化潔凈度ＣＬＡＳＳ１００、Ｎ２濃度１００ｐｐｍ以下的Ｎ２環境中硬化設備。
特征
- 潔凈環境中（潔凈度１００級）對導電銀膠進行硬化。
- 爐內導入Ｎ２，產品並列防止導電銀膠氧化。（氮氣濃度100 ppm以下）
- 爐內加熱區域有４個回路，各回路獨立控制，可任意調整溫度曲線。
- 爐內托盤直接供給，溫度上升速度快。
對導電銀膠表面的皮膜形成有抑制，殘留溶剤防止空洞発生。 - 內部有２列同時搬送，設備小型化。
- 爐體上部部開閉式，內部容易清掃。
- 和前後工序可直線連接自動線。
規格
| 対象產品 | ＳＭＤ型石英晶體，振蕩器 |
|---|---|
| 加熱方式 | 上下石英加熱管排列加熱 |
| 托盤搬送 | 入口：輸送帶（ 直線） 內部：步進方式搬送 出口：輸送帶（直線 ） |
| 潔凈度 | 100級以下 |
| 外形尺寸 | W2800×D1400×H1700㎜ （不包括+G8+G9 |
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小型石英晶體生產設備
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