진공 어닐 장비
- 관리번호
-
- AKV607A
-
- 특허제6056079호
장비형번
AANL860I
개요
리드 가용접 혹은 심 용접 공정의 직전에 진공 어닐을 실시하는 장비입니다. 용접 공정의 처리 속도에 맟추어, 캐리어 단위로 어닐 처리를 실시합니다.
특징
- 전후 공정과 인라인 접속하여 트레이 1매 단위 처리가 가능합니다.
- １．１×１０-3Pa의 고진공 상태에서, 세라믹패키지의 어닐을 실시합니다.
- Max３００℃、６０분의 가열을 실시합니다.
- 반송 치구는 통상 트레이와 클램프 트레이에 모두 대응합니다.
- 후공정 정지시의 버퍼 스톡커를 설치하였습니다.
사양
| 대상워크 | ＳＭＤ형 수정진동자, 수정발진기 |
|---|---|
| 트레이 사양 | 표준 트레이 170×134㎜ （600pcs/매 2016이하 사이즈의 경우） |
| 진공배기계 | 진공도 1×10－３Ｐａ（드라이펌프＋터보분자펌프） |
| 외형치수 | W1100×D1300×H1700㎜ （모니터, 표시등 및 칠러 제외） |
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