액티브얼라이먼트장비 (차재용)

액티브얼라이먼트장비 (차재용)

관리번호
  • AKV646A
  • 특허제5610658호
  • 특허제5747396호

장비형번

AAAS860C

개요

전용트레이로 공급된 센서기판에 렌즈유니트를 조립하여, 포커스조정, 접착제 가경화, 수납까지 자동으로 실시하는 장비입니다. ６축의 얼라이먼트기구로 고정도로 포커스조정이 가능합니다.

특징

  • 트레이＆매거진에 의한 자재의 자동공급회수가 가능합니다.
  • ＣＭＯＳ센서측에서 ６축얼라이먼트 조정을 하므로, 렌즈의 광축을 유지한 채, 고정도로 얼라이먼트를 실시할 수 있습니다.
  • 센서에 ＵＶ접착제를 도포하여, 렌즈와 챠트에 의한 액티브얼라이먼트를 실시, ＵＶ조사로 접착제의 가경화를 실시합니다.

사양

대상워크 카메라 모듈 (차재용)
접합정도 X,Y방향　±5μｍ이하 Z방향　±1μｍ이하 θ방향　±0.5°이하
사이클타임 40.0초/개
외형치수 W1500×D2000×H2000㎜ （모니터, 표시등 제외）

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