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水晶分割整列設備
- 大轉塔盤式搬送，實現了低振動，低発塵高速搬送。
- 折疊元件，位置測量，托盤轉移在同一平臺連續進行
- 也可對應向ＰＫＧ基板搭載。
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高速檢查・編帶設備
- 轉塔式搬送設備和檢查INDEX的組合，循環速度達到了０．３秒。
- 檢查用INDEX検査基板搭載在旋轉搬送中，進行頻率，阻抗連續檢查。
- 世界最高速級別同時，實現了節省使用地方，省能源化。
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RTC連続式溫度特性檢查設備
- 通過溫度控制緩沖和子PC的並行處理實現了高产量
- 從低溫到高溫有多個溫度控制階段。
- 電子溫控板式温控板在INDEX上进行温控。
- 從供給部～搬送盤之間，為自動移載不需要手動挿入插座作業。
