真空退火設備

真空退火設備

管理號
  • AKV607A
  • 專利第6056079號

商品型號：

AANL860I

概要

蓋板預焊後或封焊工序前，進行真空退火設備。真空退火可根據封焊速度，可對每個托盤（枚葉式処理）進行各別処理。

特征

  • 可前後工序接続成自動線，托盤1片単位可進行処理。
  • １．１×１０-3Pa的高真空狀態，對基座進行退火処理。
  • 可Max３００℃，６０分的加熱。
  • 搬送治具為通常托盤和扣盤雙方都可對應。
  • 後工序停止時在真空腔內部設有緩沖儲料箱。

規格

対象產品 ＳＭＤ型石英晶體，振蕩器
托盤規格 標準托盤 170×134㎜ （600pcs/片 2016以下尺寸時）
真空排気系 真空度 1×10－３Ｐａ（幹泵＋分子泵）
外形尺寸 W1100×D1300×H1700㎜ （不包括顯示器，警示燈及冷水機）