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ダイピッカ
- 最大１２インチのウェハリングに対応します。
- フル画像位置決めにて取り出し、装填を行います。（メカセンタリングなし）
- オプションでチップの外形寸法を測定することが可能です。
- ターレットテーブルにより高速に搬送を行います。
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ICハンドラ
- 外付けテスタ部（客先対応）へのワーク供給、回収を行います。
- 検査時間を確保するため、８個同時に測定治具（ソケット）にセットします。
- 測定部から半径３００㎜内に磁性体を入れないようにしています。（ＳＵＳ、アルミは非磁性体扱いとする）
- 検査終了後、良品ワークにレーザマーキングを行います。
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チップマウンタ（転写式）
- 集合基板にチップを接着搭載します。
- ターレットテーブルにより、サイクルタイム０．３５秒/個の高速化を実現しました。
- 超小型部品に対応するため、搭載位置精度±０．００１５mmの高精度化を実現しました。
- ターレット搬送中のチップに適量の接着剤を転写し、集合基板に直接搭載します。これにより、接着剤の乾燥等による接着品質の低下を防止し、歩留まりを改善します。
