真空アニール装置

真空アニール装置

管理番号
  • AKV607A
  • 特許第6056079号

商品型番：

AANL860I

概要

リッド仮付けまたはシーム溶接工程の直前に真空アニールを行う装置です。溶接工程の処理速度に合わせ、キャリア毎にアニール処理（枚葉式処理）することを可能としました。

特徴

  • 前後工程とインライン接続しトレー1枚単位で処理が可能です。
  • １．１×１０-3Paの高真空状態で、セラミックパッケージのアニールを行います。
  • Max３００℃、６０分の加熱を行います。
  • 搬送治具は通常トレーとクランプキャリアの両方に対応します。
  • 後工程停止時のバッファストッカを真空チャンバー内部に設けます。

仕様

対象ワーク ＳＭＤ型水晶振動子、水晶発振器
トレー仕様 標準トレー 170×134㎜ （600pcs/枚 2016以下サイズの場合）
真空排気系 真空度 1×10－３Ｐａ（ドライポンプ＋ターボ分子ポンプ）
外形寸法 W1100×D1300×H1700㎜ （モニタ、表示灯及び別置きチラー除く）

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